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准分子激光系统原理


准分子激光器,以准分子为工作物质的一类气体激光器件。常用相对论电子束(能量大于200千电子伏特)或横向快速脉冲放电来实现激励。当受激态准分子的不稳定分子键断裂而离解成基态原子时,受激态的能量以激光辐射的形式放出。我司体提供的准分子激光系统应用紫外、深紫外波段激光配合定制化的光路整形系统,可以在多领域应用。

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