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准分子激光精密加工系统


产品描述

该准分子激光精密加工系统是以紫外、深紫外波段激光配合定制化的光路整形系统,可应用于较多领域。

产品特点

  • 激光器稳定、寿命长
  • 加工精度高
  • 高精度运动平台
  • 平顶均匀分布光斑
  • 适合多种半导体工艺
  • 高度自动化集成

系统参数

波长 193nm、248nm、355nm
功率 60w
重复频率 200Hz
系统精度 ±3μm

产品应用

  • LED/OLED wafer划线/烧蚀/剥离
  • 生物医学微电路加工
  • 聚合物喷墨嘴加工
  • 陶瓷微流器件加工
  • 太阳能电池薄膜加工

样品展示

  • 材料:LED & OLED面板
  • 加工速度:>150mm/s
  • 用途:晶圆切割、划线、剥离、烧蚀

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