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超快激光精密加工系统


产品特点

  • 超短脉冲激光材料加工为冷加工,不会在加工区域形成热影响区域
  • 高精度平台
  • 同轴旁轴视觉定位系统
  • 独立研发加工控制软件

系统参数

波长 355nm、532nm、1064nm可调
能量 5~500mj
频率 50~1Khz
运动系统精度 ±3μm
脉宽 300fs~80ps
加工精度 200nm

产品应用

  • 透明材料精密加工
  • 陶瓷精密加工
  • 脆性材料精密加工
  • 薄膜&表面材料的分离/去除

加工样品

蓝宝石灯丝切割
厚度:0.4mm
精度:±0.005mm

氮化铝陶瓷打孔
孔径:0.08mm
精度:±0.002mm

钢膜剥离
钢膜厚度:0.1mm
精度:±0.005mm

蓝宝石异形切割与打孔
切割速度:200mm/s
粗糙度:Ra<700nm

镀金硅切割
厚度:0.4mm
精度:±0.002mm

材料分离
PI厚度:0.05mm
PE厚度:0.02mm

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